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產(chǎn)品名稱：日本日立HITACHI日立高解析度FEB測量裝置（CD-SEM），西南強(qiáng)勢供應(yīng)
產(chǎn)品型號：CS4800
產(chǎn)品廠商：日立HITACHI
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
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簡單介紹：

日本日立HITACHI日立高解析度FEB測量裝置（CD-SEM），西南強(qiáng)勢供應(yīng) 日本日立HITACHI日立高解析度FEB測量裝置（CD-SEM），西南強(qiáng)勢供應(yīng)

詳情介紹：

日本日立HITACHI高解析度FEB測量裝置CS4800（CD-SEM） 的詳細(xì)介紹

考慮了更換現(xiàn)有設(shè)備或共同使用情況下的設(shè)備占地面積和GUI*1
通過**設(shè)備的研發(fā)經(jīng)驗，搭載了高精度測量技術(shù)和*新的計量應(yīng)用。
通過光學(xué)軸自動化調(diào)整，減少了由于操作員熟練度而造成的測量偏差。
更高的圖像處理技術(shù)，實現(xiàn)Recipe自動測量并提高產(chǎn)能。
新的晶圓搬送系統(tǒng)兼容4,6,8英寸多尺寸晶圓。

*1: GUI (Graphic User Interface):使用計算機(jī)的圖形顯示器和鼠標(biāo)等指示設(shè)備的軟件操作系統(tǒng)。

測量精度	1nm（3σ）（采用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓）
晶圓尺寸	直徑 100mm, 150mm, 200mm
自動裝片裝置	2個
設(shè)備尺寸（主體）	1180（寬）× 2500（長）× 1990（高）毫米

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粵公網(wǎng)安備 51012402000291號

產(chǎn)品名稱：日本日立HITACHI日立高解析度FEB測量裝置（CD-SEM），西南強(qiáng)勢供應(yīng)

產(chǎn)品名稱：日本日立HITACHI日立高解析度FEB測量裝置（CD-SEM），西南強(qiáng)勢供應(yīng)