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- 退磁、退磁設(shè)備及相關(guān)設(shè)備
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
特征
可以將通過熱化CVD、蝕刻等在高溫區(qū)域
產(chǎn)生的可升華廢氣以氣態(tài)排出。
UR 系列可以加熱到比 HR 系列更高的溫度。
由于密封結(jié)構(gòu)配備氦氣密封罐裝電機，因此非常**。
瞬時停電對策 采取1000msec以內(nèi)的瞬時停電對策。
優(yōu)異的耐蝕性
主要部件采用表面硬度高、耐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。排出腐蝕性氣體時減少泵內(nèi)部的腐蝕。
通訊功能
可以讀取與泵運行狀態(tài)和警告/警報歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件和執(zhí)行計算機通信，可以進行集中監(jiān)控。
詳情介紹：
| 模型 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
| 使用的泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| 公安部 | ―――― | ―――― | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
|
*大 排氣速度 |
50赫茲 |
米3 /小時 （升/分鐘） |
62 (1030) | 112 (1860) | 359 (5,980) | 653 (10,900) | 1,012 (16,900) | ||
| 60赫茲 |
米3 /小時 （升/分鐘） |
80 (1333) | 126 (2100) | 365 (6,080) | 701 (11,700) | 1,051 (17,500) | |||
| 達到壓力 | 帕 | 五 | 0.67 | ||||||
|
*大進氣壓力 （進氣壓力） |
大氣壓*1 | ||||||||
|
*大排氣口壓力 （排氣壓力） |
帕 | 1～大氣壓 | |||||||
| 進氣口（CE規(guī)格） | VG50 (KF50) | VG80 (KF50) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | |||||
| 排氣口 | KF40 | ||||||||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 電力 | 三相 | VAC (赫茲) | 200 (50/60), 220 (60) | ||||||
| 當(dāng)前值 | 常規(guī)時間 | 一個 |
7.1 （200V 時） |
11.2 （200V 時） |
7.8 （200V 時） |
12.9 （200V 時） |
15.4 （200V 時） |
||
| *大值 | 一個 |
7.3 （200V 時） |
11.8 （200V 時） |
8.1 （200V 時） |
13.8 （200V 時） |
18.9 （200V 時） |
|||
| 臨時冷卻水壓力 | 兆帕 | 0.1～0.3 | |||||||
| 冷卻水進/出口壓差 | 兆帕 | > 0.1 | |||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | > 5.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 初級壓力 | 兆帕 | 0.1～0.5 | ||||||
