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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
詳情介紹：
下一代清洗技術(shù)，實現(xiàn)低損害和高清潔度
2006年，石英振動體超聲清洗裝置投入實際使用。
在這種方法中，通過在振動體上疊加超聲波對半導體晶圓進行清洗。
與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學品的使用量，由于只有石英玻璃與液體接觸，沒有墊片等橡膠材料與液體接觸，因此能保持較高的清潔度。
石英振動體有不同的形狀，以適應不同的用途，能夠根據(jù)需要進行有效的清洗，如低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣表面）和缺口（晶圓邊緣表面的缺口）的清洗等
